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薄膜測厚儀采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點，可在真空環(huán)境使用；可與大行程工件臺配合，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量。

微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準(zhǔn)，利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法，實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu)，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結(jié)果。